1、研具應具有良好的耐磨性
　　為了保持研具本身已具有的表面幾何形狀精度，研具要具有良好的耐磨性能。例如，為了提高精研磨使用的鑄鐵研具的耐磨性，通常采用高磷鑄鐵研具。即在鑄造研具時使鐵水含有較高的磷元素，以待生成磷共晶并形成無數(shù)塊理想的耐磨支承點，達到使用中均勻受載磨損保持研具精度之目的。
　　2、研具本身要具有適當?shù)谋砻鎺缀涡螤睢?br> 　　已經(jīng)說過，研具可以把本身的表面幾何形狀精度準確地傳遞給被研工件。所以，不同的工件、不同的精度要求，對研具本身的表面幾何形狀精度的要求亦不同。例如，精研磨千分尺量面使用的研具其表面的不平度偏差為3條光干涉帶；而精研磨量塊使用的研具其表面的不平度偏差則要求不大于1條光干涉帶（相當于0.3微米以內）。
　　3、研具應具有足夠的剛度
　　在研磨中，如果研具的剛性不足，受力后會產(chǎn)生變形，甚至會發(fā)生斷裂。研磨機分析從而破壞了研具表面的幾何形狀精度，滿足不了加工精度的要求。為此，需要把握住研具報廢的極限尺寸和增強研具的剛性。